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三氟化氮檢測儀具體安裝要求
三氟化氮檢測儀具體安裝要求

2024-06-05

三氟化氮檢測儀是一種用于連續監測工業(yè)環(huán)境中三氟化氮(NF3)氣體濃度的重要安全設備。這種裝置特別適用于半導體制造、平板顯示器生產(chǎn)、光纖和光伏電池制造等高科技行業(yè),這些領(lǐng)域在生產(chǎn)過(guò)程中廣泛使用三氟化氮作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑。三氟化氮檢測儀具體安裝要求如下:1.選擇安裝位置...
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